真空镀膜机抽气系统的原理和使用方法

　　扩散真空泵是一种能够获得高真空的真空泵★★，它主要利用高速运动的蒸汽流来携带气体分子，从而实现对气体的抽除★。扩散泵通常由泵体、喷嘴★★、冷却系统等组成。

　　在镀膜工艺开始前★★，首先要进行粗抽★★。此时，开启机械真空泵，通过真空阀门将镀膜室与机械真空泵连通。机械真空泵开始工作，利用其自身的工作原理，将镀膜室内的气体逐步抽出★★，使镀膜室内的气压从大气压快速降低到一定程度，这个阶段主要是为后续的中抽和精抽打下基础，去除镀膜室内大量的空气和其他气体。

　　中抽完成后，进入精抽阶段★。此时，开启扩散真空泵，通过真空阀门将镀膜室、罗茨真空泵（如果有）、机械真空泵和扩散真空泵连通★★。扩散真空泵工作时★★，其内部的工作液汽化形成高速蒸汽流，携带镀膜室内剩余的气体分子★★★，在罗茨真空泵和机械真空泵的配合下，将镀膜室内的气压进一步降低到高真空状态★★★，满足镀膜工艺对真空度的要求★★。

　　当罗茨真空泵（如果有）中抽达到一定程度，一般是当镀膜室内气压降低到10⁻³-10⁻⁴Torr左右时，开启扩散真空泵。开启扩散真空泵前，要确保其与罗茨真空泵（如果有）★★★、机械真空泵和镀膜室之间的连接正确，通过真空阀门将四者连通★★★。扩散真空泵开启后，在罗茨真空泵和机械真空泵的配合下，进行精抽，将镀膜室内的气压降低到高真空状态。

　　真空阀门在抽气系统的不同位置★★，根据工艺要求适时地开启或关闭★，以保证抽气过程的顺利进行和镀膜室内线、真空规管

　　定期对各真空泵进行检查，包括机械真空泵、罗茨真空泵和扩散真空泵★。检查内容有泵的运转声音是否正常、温度是否过高、密封性能是否良好等。对于机械真空泵，要定期更换润滑油，以保证其正常运转。对于扩散真空泵，要定期检查工作液的质量和液位，及时添加或更换工作液★。

　　机械泵是从大气开始工作的★，它的主要参数有极限真空★，抽气速率★★★，此为设计与选用机械泵的重要依据★★。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空★★★，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2PA★★，甚至更高★★★。抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n★★★。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养★★，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检★★★，油过少★★，达不到密封效果★，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线★★★、扩散真空泵

　　机械真空泵是抽气系统中最常见的基础真空泵，它主要通过机械运动改变泵腔内的容积★，从而实现对气体的吸入、压缩和排出。常见的机械真空泵有旋片式真空泵★★★、滑阀式线）旋片式真空泵

　　真空阀门在抽气系统中起着控制气体流动的重要作用★。根据其功能和结构的不同，可分为闸阀、截止阀★★、蝶阀等多种类型。

　　在整个启动过程中，要密切关注真空规管反馈的真空度信号★★★，根据信号适时调整各真空泵的工作参数以及真空阀门的开闭状态★★，确保抽气过程的平稳进行。

　　电离规管：电离规管是利用气体电离原理来测量真空度的。当规管内的灯丝通电发射电子，电子在电场作用下与气体分子碰撞并使其电离，通过测量电离产生的离子电流来确定真空度的高低。电离规管适用于测量高线⁻⁸Torr）的真空度。

　　定期检查真空规管的测量精度是否符合要求★★，若发现真空规管测量误差较大★★★，应及时更换。

　　在完成启动前准备后★★★，首先开启机械真空泵★★。按下机械真空泵的启动按钮★，机械真空泵开始运转★★★，此时通过真空阀门将镀膜室与机械真空泵连通★，机械真空泵开始对镀膜室内的气体进行粗抽。在粗抽过程中，要密切关注真空规管反馈的真空度信号，一般情况下，粗抽速度会随着镀膜室内气压的降低而逐渐减慢★。

　　-截止阀★★★：截止阀通过阀杆带动阀芯在阀体内做轴向运动，实现对气体的截断或导通★★★。截止阀的密封性能较好，但流阻相对较大★★★，常用于小口径管道的气体控制★★★。

　　保持整个抽气系统及真空镀膜机的清洁，避免灰尘★、杂质等进入泵体或镀膜室★★，影响抽气效率和镀膜质量。

　　罗茨真空泵也是一种常用的真空泵★★★，它属于容积式真空泵★★，其特点是在较宽的压力范围内有较大的抽速★★★。罗茨线”字形的转子组成★★，两个转子在泵腔内做同步反向旋转，转子与转子之间★、转子与泵腔内壁之间都保持极小的间隙。

　　当机械真空泵粗抽达到一定程度★★，一般是当镀膜室内气压降低到10⁻²-10⁻³Torr左右时，如果抽气系统配备了罗茨真空泵，就可以开启罗茨真空泵★★。开启罗茨真空泵前，要确保其与机械真空泵和镀膜室之间的连接正确，通过真空阀门将三者连通。罗茨真空泵开启后，与机械真空泵协同工作，进行中抽★，进一步降低镀膜室内的气压。

　　】镀膜机抽气系统是实现镀膜工艺的关键环节之一，它负责将镀膜室内的气体抽出，创造出满足镀膜要求的高真空环境。本文将详细阐述真空镀膜机抽气系统的原理以及其使用方法★★★。1、机械泵的工作原理：

　　如果抽气系统中配备了扩散真空泵，需要检查扩散真空泵内的工作液是否充足★。对于油扩散真空泵，要检查油位是否在规定的范围内，若油位过低，应及时添加合适的扩散泵油★★。同时，还要检查油的质量，若油已变质★，应更换新油。

　　在整个抽气过程中，真空规管不断地测量镀膜室内的真空度，并将信号反馈给控制系统★，控制系统根据反馈信号适时调整各真空泵的工作参数以及真空阀门的开闭状态★★，以确保抽气过程的平稳进行和最终达到所需的真空度。

　　其工作原理是在偏心安装的转子上镶嵌有可沿径向滑动的旋片★★，当转子旋转时，旋片在离心力和弹簧力的作用下★，始终与泵腔内壁紧密接触，将泵腔分隔成不同的容积区域。随着转子的转动，这些区域的容积不断变化，气体被吸入、压缩并排出泵外。

　　真空规管将测量到的真空度信号反馈给控制系统，以便操作人员及时了解镀膜室内的真空状况★★★，并根据需要调整抽气系统的工作参数★。

　　最后关闭机械真空泵★★★。关闭机械真空泵前，要确保其已停止运转，然后按下机械真空泵的关闭按钮★★★，关闭机械真空泵★★。关闭机械真空泵后，通过真空阀门将其与其他设备断开连接★★。

　　-闸阀：闸阀的闸板在阀体内做垂直升降运动★★，通过开启或关闭闸板来控制气体的通断★★。闸阀具有流阻小★★★、密封性能好等优点★★，适用于大口径管道的气体控制。

　　热偶规管★★：热偶规管是基于气体热传导原理来测量真空度的。当规管内的加热丝通电发热时★，周围气体的热传导情况会随真空度的变化而变化，通过测量热偶的热电势来反映真空度的高低。热偶规管适用于测量中线⁻³Torr）的真空度。

　　-蝶阀：蝶阀的阀瓣呈圆盘状★★★，通过阀杆带动阀瓣在阀体内做旋转运动，从而控制气体的流通。蝶阀具有结构简单、操作方便、体积小等优点，常用于中、小口径管道的气体控制。

　　当镀膜工艺完成后，首先要关闭扩散真空泵。关闭扩散真空泵前，要确保其内部的工作液已冷却，然后按下扩散真空泵的关闭按钮，关闭扩散真空泵。关闭扩散真空泵后★，通过真空阀门将其与其他设备断开连接。

　　粗抽完成后，进入中抽阶段。在这个阶段，根据抽气系统的具体配置，可能会开启罗茨真空泵（如果配备）。罗茨真空泵与机械真空泵串联工作★★★，通过真空阀门将镀膜室、机械真空泵和罗茨真空泵连通★★★。罗茨真空泵利用其较大的抽速，在机械真空泵已经降低的气压基础上，进一步将镀膜室内的气压降低。

　　确保抽气系统的电源供应正常★，检查电源线是否连接牢固★，开关是否正常工作★★。同时，要对控制系统进行检查，确保控制系统能够正常接收和处理真空规管反馈的信号★★，并且能够根据设定的程序控制各真空泵和真空阀门的工作。

　　当罗茨真空泵工作时，气体从进气口进入泵腔，随着转子的旋转★★，气体被封闭在由转子和泵腔形成的容积空间内★，并被不断地从进气口推向排气口，从而实现对气体的抽除★。罗茨真空泵的极限线⁻⁴Torr左右，常与机械真空泵串联使用，作为机械真空泵和扩散真空泵之间的中间级真空泵★★★，以提高整个抽气系统的抽气效率。

　　当扩散泵工作时，泵内的工作液（如油、汞等）被加热汽化★★★，形成高速蒸汽流从喷嘴喷出★。这些蒸汽流在向下运动的过程中★★，与从镀膜室进入泵内的气体分子发生碰撞★★，由于蒸汽流的速度远高于气体分子的热运动速度，气体分子就会被蒸汽流携带并向下运动，最终被前级真空泵（如机械线、罗茨真空泵

　　真空镀膜机抽气系统的原理和使用方法是实现高质量镀膜工艺的关键因素之一。通过了解抽气系统的组成部分及其工作原理，以及掌握其正确的使用方法★，包括启动前准备★★★、启动过程、运行维护和关闭过程等，能够有效地保证真空镀膜机创造出满足镀膜要求的高真空环境，从而提高镀膜质量和产品性能。在实际应用中，操作人员应严格按照操作规程进行操作，并定期对抽气系统进行维护和保养，以确保抽气系统的长期稳定运行和镀膜工艺的顺利进行。

　　真空镀膜机抽气系统的工作过程通常是由粗抽、中抽和精抽等多个阶段组成的连续过程。

　　定期检查真空阀门的开闭是否灵活★★★、密封性能是否良好。若发现真空阀门存在问题，应及时修复或更换。

　　如果抽气系统配备了罗茨真空泵，在关闭扩散真空泵后★★，关闭罗茨真空泵★★★。关闭罗茨真空泵前，要确保其已停止运转★★，然后按下罗茨真空泵的关闭按钮★★，关闭罗茨真空泵。关闭罗茨真空泵后，通过真空阀门将其与其他设备断开连接。

　　真空规管是用于测量镀膜室内真空度的仪器★★★。常见的真空规管有热偶规管、电离规管等。

　　它由偏心轮、滑阀、泵体等组成。偏心轮带动滑阀在泵体内做往复运动，使得泵腔容积周期性变化，完成气体的吸入、压缩和排出过程★★。

　　在启动抽气系统之前，首先要对整个真空镀膜机及其抽气系统进行全面的检查。检查内容包括各真空泵的外观是否有损坏、连接部位是否紧密、真空阀门的开闭是否灵活★、真空规管是否正常安装等★★。

　　在关闭整个抽气系统后，要对设备进行清理和维护，为下一次镀膜工艺做好准备。